在ZnO體系中摻雜Al得到ZnOAl透明導(dǎo)電薄膜,即AZO薄膜,慘雜后薄膜導(dǎo)電性能大幅度提高,電阻率可降低到10-4ohmcm,而且透明導(dǎo)電薄膜AZO薄膜在氫等離子體中穩(wěn)定性要優(yōu)于ITO,同時(shí)具有可同ITO相比擬的光電特性,而且AZO薄膜的制備方便,元素資源比In元素豐富,且無毒,逐漸成為ITO薄膜...
在ZnO體系中摻雜Al得到ZnOAl透明導(dǎo)電薄膜,即AZO薄膜,慘雜后薄...
在ZnO體系中摻雜Al得到ZnOAl透明導(dǎo)電薄膜,即AZO薄膜,慘雜后薄...